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MITAKA三鹰高精度点自动对焦3D测量机NH-3SPs

MITAKA三鹰高精度点自动对焦3D测量机NH-3SPs

a005
产品描述
参数
技术参数
应用领域

产品概述:
NH-3SPs是NH系列的高精度机型。
NH-3SPs适合测量的样品案例:非球面样品、菲涅尔透镜、光栅、不平坦的金属薄膜

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移动范围(X,Y,Z) X:150 x Y:150 x Z:120mm
测量范围 AF 10mm
scale分辨率 (X,Y)
Z粗动
AF
0.01 x 0.01
0.1um
0.001um

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