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与硅片所接触的材料，设备，人员等外界环境都包含有机化合物。在该实例中，一块8英寸硅片被压覆于一块晶片加热板上。晶片表面所产生的挥发性气体可以通过一台GC-MS进行收集和分析。
通常，塑料材质的零配件会检测出包含C12（1-十二碳烯）、环甲基硅氧烷（n=6）和二羧酸酯组分。
气相色谱-质谱联用仪
通过加热晶圆片，分析有机物挥发出的气体组分所对应的色谱图，进而对附着于晶片的有机物进行定性分析。样品可以通过一个气体收集器进行采集。此检测系统可以实现ng级样品浓度的定量分析。
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测量平板玻璃的太阳能透射率
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玻璃的定性定量分析（EDX）
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发布时间：2021-02-23 11:37:04
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