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SBC-12离子溅射仪

SBC-12 离子溅射仪
产品描述
参数
技术参数
应用领域

产品介绍:本仪器主要适用于扫描电子显微镜镀覆导电膜(金膜),仪器操作简单,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

仪器主要用途:金、铂、银、钛、铝等离子溅射。

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仪器技术指标:

  1. 电源要求: AC220V±10%,50Hz,10A
  2. 金靶尺寸: φ58毫米
  3. 真空检测: 皮氏计
  4. 溅射电压: 1.6KV
  5. 玻璃处理室:φ100毫米,高度130毫米
  6. 试样台尺寸:φ40毫米,可同时放6个样品杯
  7. 真空系统: 直连旋转真空泵,抽速2L/S
  8. 真空保护: 20Pa,配有微量充气阀调节工作真空
  9. 工作室工作媒介气体:空气或氩气,配有氩气专用进气口和微量充气阀

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发布时间:2021-02-23 11:37:04
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