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Apreo S Hivac

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技术参数

应用领域

Thermo Scientific™ Apreo SEM 具有最广泛地适用

性，可以在最短时间内为材料研究人员提供卓越的成

像质量。

当 Apreo 的电子束打开，形貌和成分衬度可以同时被镜筒内探测系统

呈现：无需繁琐操作，即可快速探索并获取样品各方面信息。在高放大

倍率下，Apreo 的长工作距离（如 10mm 分析工作距离）也能表现出

杰出的分辨性能。即使在绝缘、电子束敏感或磁性的材料上，Apreo的

用户界面也可以高效地引导操作者获得表征该纳米结构的最优参数条

件。 Apreo 能在短时间内解决错综复杂的研究问题，适用于需要多功

能以及多用户操作的应用场合。

Apreo 是研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米器件的理想平台，其创新的末级

透镜设计，丝毫不会降低对磁性样品的分辨能力。静电式末级透镜

（Apreo C 和 Apreo S）能够实现镜筒内多种信号的同时探测和高分辨

率，而 Apreo S 则结合静电、浸没式磁场的复合透镜以进一步提高低电压下

的分辨率，在 1 kV 加速电压下的分辨率为 1.0 nm，不需要电子束减速。通过

将浸没式磁透镜和静电透镜组合还可以实现特有的信号过滤功能。

Apreo 拥有透镜内背散射探测器 T1，其位置紧靠样品，确保在较短的时间

内获得最大量的采集信号。与其他背散射探测器不同，这种快速的探测器在

导航时、倾斜时或工作距离很短时能够始终保持良好的材料衬度。在表征敏

感样品时，探测器的优越性能尤为突出，即使电流低至几 pA，它也能提供

清晰的背散射图像。Apreo S 复合末级透镜通过能量过滤实现高质量的材料

衬度以及绝缘样品的无电荷成像，进一步提高了 T1 BSE 探测器的使用价

值。Apreo 还提供了受欢迎的选配探头来补充其探测能力，例如定向背散射

探测器(DBS)、STEM 3+ 和低真空气体分析探测器 (GAD)。所有这些探

测器都拥有独一无二的软件控制分割功能，以便根据需求选择最有价值的样

品信息

一、电镜技术参数：

1电子光学

1.1电子枪类型：高分辨肖特基场发射电子枪

1.2加速电压：200V-30kV

1.3电子着陆能量：20eV-30keV

*1.4束流大小：1pA-400nA连续可调，保证能谱高效工作

1.5透镜（物镜）几何结构：60°物镜几何结构：支持倾斜较大的样品（不规则样品）

*1.6兼容磁性样品

1.7光阑：自加热物镜光阑

1.8自动烘烤、自动启动、无需机械合轴

1.9 减速样品台

2分辨率

2.1高真空分辨率（STEM扫透模式）：0.6nm@30kV

2.2高真空分辨率（SE二次电子）：0.7nm@15kV

2.3高真空分辨率（SE二次电子）：0.8nm@1kV(样品台减速)

2.4高真空分辨率（SE二次电子）：1.0nm@1kV(不开样品台减速)

2.5 10mm分析工作距离分辨率：1.0nm@1kV

3探测系统

3.1 镜筒内BSE探头（T1）

3.2 镜筒内SE探头（T2）

3.3 镜筒内探测器（T3）

3.4 常规SE探头（ETD）

3.5 红外CCD（观察样品台高度）

3.6 Nav-Cam智能导航相机

4真空系统

4.1泵的组成：1个PVP涡旋泵+1个分子泵+2个离子泵

*4.2抽真空时间：≤ 3.5 分钟

5样品仓

*5.1样品仓内径：340mm

5.2接口：总共12个，可接能谱3个（1个35°,2个平行180°）

6样品台

6.1 五轴全对中马达样品台，行程：X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm

*6.2 倾斜Tilt(°)：-15 ~ +90，旋转Rotation(°)：360°连续

6.3 最大样品尺寸：可沿 X、 Y 轴完全旋转时直径为 122 mm，最大样品高度距共心点 85mm

6.4 分析工作距离：10mm

*6.5 多功能样品台：多用途标准支架，以独特方式直接安装到载物台，最多可支持 18 个标准样品台 (Ø12 mm)、3 个预先倾斜的样品台、切片样品和不需要工具来安装样品

7软件

7.1图像输出分辨率：65000x65000像素，8/16/24位深度BMP、JPG

7.2光栅扫描：驻留时间25ns到25ms/像素

*7.3智能扫描和漂移补偿：SmartSCAN（256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描），DCFI（漂移补偿帧积分）

7.4控制：手动/自动控制亮度/对比度

7.5扫描方式：正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正

*7.6显示方式和探测器通道数量：单幅或4幅图像实时显示，标准4通道，任意两个探测器的输入可混合

7.7配备Map3大视野关联软件

二、能谱仪参数：

技术指标

1、(*)能谱探测器：采用CMOS内置的Si₃N₄窗新型SDD探测器窗口，坚固耐用，晶体有效活区面积30mm²，X射线信号透过率比传统的聚合物材料提高35%以上。

2、(*)Si₃N₄新型窗口耐高压大于8个大气压，耐高温大于650摄氏度，耐酸碱腐蚀，可等离子直接清洗。

3、(*) 脉冲谱仪处理板集成在探测器内，无需独立的谱仪箱，能谱仪硬件除了探测器和计算机无需其他部件。

4、分析元素范围：Be4~Am95

5、(*)能量分辨率(Mn-Ka)：优于127eV, 严格依照ISO15632国际标准测量

6、优异的低能端分辨率： Al Lα to Al Kα 峰比率1:1

7、(*) 最大输入计数率 200万CPS，最大输出计数率85万CPS。

8、在0~200kcps范围内的分辨率稳定性：> 90%

9、(*)能量分辨率和死时间实时显示。

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发布时间：2021-02-23 11:37:04

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