KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机ET4000系列

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台阶仪/膜厚仪/薄膜测厚仪

KOSAKA 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机ET4000系列

产品描述

参数

技术参数

应用领域

产品概述：
● 高精度．安定性．机能性卓越适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。
● 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。
● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。
● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。
● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。
● ET4300一适合12"样品测量。
● 各机型详细参数请与区域销售联系。

台阶仪/膜厚仪ET4000系列产品参数

最大试片尺寸	210×210mm~300×400mm
重现性	1σ 0.5nm以内
测定范围	Z:100um X:100～305mm (Y移动量:150~400mm)
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
测定力	0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)