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NanoFocus激光共聚焦3D形貌测量仪

NanoFocus激光共聚焦3D形貌测量仪

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产品描述
参数
技术参数
应用领域
● 紧凑型3D量测设备。
● 安装移动迅速便捷。
● 适用于所有基板类型。
● 多样化的应用选择。
● 工业标准数据端口。
未找到相应参数组,请于后台属性模板中添加
NanoFocus桌面轮廓仪
分辨率 X & Y轴: 0.5-2.5um;
Z轴:0.016 um;
取样率 20000 Hz
工作距离 8 mm
扫描宽度 630 um
高度范围 300 um – 400 um
机台尺寸 300mm x 200mm (可定制)

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发布时间:2021-02-23 11:37:04
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