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Apreo C

Apreo S Hivac
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技术参数
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全面实现纳米或亚纳米分辨性能,从纳米颗粒,粉末,催化 剂和纳米器件到块状磁性样品等材料。
 
最有效的背散射电子探测始终可保证良好的材料衬度,即使 是以低电压和小束流并以任何倾斜角度对电子束敏感样品进行 TV 速率成像是也不例外。
 
无比灵活的探测器可将各个探测器分割提供的信息相结合, 让用户能够获得至关重要的对比或信号强度。
 
各种各样的荷电缓解策略,包括样品仓压力最高为 500 Pa 的低真空模式,可实现任何样品的成像。
 
卓越的分析平台提供高电子束电流,而且束斑很小。仓室 支持三个 EDS 探测器、共面的 EDS 和 EBSD 以及针对分析而优化的低真空系统。
 
样品处理和导航极容易,具有多用途样品支架和 Nav-Cam+。
 
通过高级用户指导、预设和撤消功能为新用户提 专家级结果
 
高真空模式下成像的羟磷灰石晶体的低能量 (1 keV) 二次电子图像。
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热场发射扫描电子显微镜具体指标:

1电子光学

1.1电子枪类型:高分辨肖特基场发射电子枪

1.2加速电压:200V-30kV

1.3电子着陆能量:20eV-30keV

1.4束流大小:1pA-400nA连续可调,保证能谱高效工作(后期做EDS Mapping和EBSD)

1.5透镜(物镜)几何结构:60°物镜几何结构:支持倾斜较大的样品(不规则样品)

*1.6兼容磁性样品

1.7光阑:自加热物镜光阑

1.8自动烘烤、自动启动、无需机械合轴

1.9 减速样品台

 

2分辨率

2.1高真空分辨率(STEM扫透模式):0.8nm@30kV 

2.2高真空分辨率(SE二次电子):1.0nm@15kV

*2.3高真空分辨率(SE二次电子):1.0nm@1kV(样品台减速)

2.4分析工作距离分辨率:1.5nm@1kV

 

3探测系统

*3.1 镜筒内BSE探头

3.2 镜筒内SE探头

3.3 常规SE探头 (ETD)

3.4 红外CCD(观察样品台高度)

3.5 Nav-Cam智能导航相机

 

4真空系统

4.1泵的组成:1个PVP涡旋泵+1个分子泵+2个离子泵

*4.2抽真空时间:≤ 3.5 分钟

 

5样品仓

5.1样品仓内径:340mm

5.2接口:总共12个,可接能谱3个(1个35°,2个平行180°)

 

6样品台

6.1 五轴全对中马达样品台,行程:X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm

*6.2 倾斜Tilt(°):-15 ~ +90,旋转Rotation(°):360°连续

6.3 最大样品尺寸:可沿 X、 Y 轴完全旋转时直径为 122 mm,最大样品高度 距共心点 85mm

6.4 分析工作距离:不小于10mm

6.5 多功能样品台:多用途标准支架,以独特方式直接安装到载物台,最多可支持 18 个标准样品台 (Ø12 mm)、3 个预先倾斜的样品台、切片样品和不需要工具来安装样品

 

7软件

7.1图像输出分辨率:6144x4096像素,8/16/24位深度BMP、JPG

7.2光栅扫描:驻留时间25ns到25ms/像素

7.3智能扫描和漂移补偿:SmartSCAN(256 帧平均或积分、线积分和平均法、隔行扫描),DCFI(漂移补偿帧积分),主要用于控制消除荷电

7.4控制:手动/自动控制亮度/对比度

7.5扫描方式:正常扫描、缩小光栅、定点、线扫描、扫描旋转、倾斜校正

7.6显示方式和探测器通道数量:单幅或4幅图像实时显示,标准4通道,任意两个探测器的输入可混合

 

能谱仪具体指标:

8.1 SDD电制冷高效高分辨能谱仪探测器,无需液氮冷却

8.2 元素分析范围:  Be ~Am

8.3. 探测器晶体面积:  40mm2

8.4 分辨率: 优于129 eV, Mn Ka

8.5 32位8192通道MCA,可采集任意数量幅的X-射线元素面分布图;具有定量元素面分布和定量线扫描功能。

8.6 全谱图像采集分析软件:一次使用样品,即可得到采集区域每个像素点形貌和成分数据,无需二次利用样品。在全谱图像上可完成任意点、线、面、不规则图形中的元素定性和定量分析。

8.7 高级化合物成分分析软件:软件自动提取每个像素点的特征谱,自动完成成分差异提取;自动得出不同区域的化学物组成分析,确保每个操作者得到分析结果都是一样的。

8.8 软件脱机安装和升级: 满足用户将能谱仪分析软件免费安装在另外的10台计算机上脱机离线分析使用,以便提供电镜和能谱仪的使用效率。当厂商软件升级时,应免费提供。

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